国内首台

微导纳米(688147.SH):开发的国内首台成功应用于集成电路制造前道生产线的量产型High-k ALD设备

格隆汇9月26日丨微导纳米(688147.SH)在互动平台表示,公司是国内领先的ALD设备供应商,相关产品涵盖了行业所需主流ALD薄膜材料及工艺。ALD技术在45nm以下节点以及3D结构等先进半导体薄膜沉积环节具有良好的应用前景,是半导体设备中增长最快的领域之

集成电路 纳米 ald 国内首台 ald设备 2025-09-26 16:03  5

省大了!1度电可当5度用 国内首台磁悬浮离心式地源热泵机组为一座小区省下45万度电

走进山东省潍坊市坊子区地质家园小区的地下机房,新升级的磁悬浮离心式地源热泵机组将冷气源源不断传送到小区住户家中,机组外的监控仪表上实时跳动着用电量、温度、节能率等数据。山东省煤田地质局第四勘探队低碳能源技术开发部工程师王成林介绍:“这是国内首台磁悬浮离心式地源

磁悬浮 国内首台 磁悬浮离心式 首台磁悬浮 离心式 2025-09-12 21:20  6